PVD工藝中的離散過(guò)程，是將固體原材料轉(zhuǎn)化為可以遷移的氣相成分的步驟，常用方法有蒸發(fā)和濺射兩種方法。

對(duì)此二過(guò)程的分析：質(zhì)量守恒及質(zhì)量遷移；能量守恒及能量遷移

蒸發(fā)過(guò)程分析

原料固相——液相——?dú)庀嗌贁?shù)直接升華，固相——?dú)庀?如鉻

原料參與相變的量：首先全部液化，然后部分汽化——感應(yīng)坩堝

或者：只有一部分參與液化和汽化，其它只是受熱升溫——電子槍，激光

所需要的熱量：固相升溫?zé)?、熔化熱、液相升溫?zé)?、汽化潛?/p>

熱損失量：坩堝熱損失

濺射過(guò)程分析

原料固相——?dú)庀啵?/p>

原料參與相變的量：只有被濺射原料參與濺射過(guò)程，其它原料只是受熱升溫，

所需能量：材料被濺射所需能量，僅占%

損失能量：產(chǎn)生入射離子所消耗的能量；離子入射動(dòng)能量轉(zhuǎn)化為靶的熱量損失