真空鍍膜掉膜的原因有很多，比如產(chǎn)品表面清潔度不夠，清洗過(guò)程中存在問(wèn)題，工藝的問(wèn)題，靶材的問(wèn)題，真空腔是否漏氣，產(chǎn)品表面氧化等。為了解決這些問(wèn)題，你需要對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行離子源清洗，確保清洗到位，更換清洗液時(shí)避免化學(xué)反應(yīng)殘留，檢查靶材是否中毒，進(jìn)行真空腔漏氣檢查，根據(jù)實(shí)際情況處理產(chǎn)品表面氧化等問(wèn)題。這些步驟完成后，應(yīng)該能夠有效地解決真空鍍膜掉膜的問(wèn)題。